Adv. Mater.：蘇州大學-光學設備的柔性納米加工

【引言】

近幾年，人們對可伸縮式的光電設備產生了濃厚的興趣，因為其可以在下一代平板顯示器、光源、傳感器以及可再生電源中有著廣泛的應用。尤其是有機光電器件中的有機發光二極管和有機光電管引領著智能電子技術的發展。對于可伸縮式的光電設備而言，最大的挑戰在于用高質量的透明導電并且具有優異的彎曲性和精密卷繞可加工性電極替換掉傳統的銦錫氧化物電極。在可伸縮基板上連續并且可伸縮的奈米圖案成形吸引了科研界以及商業廣大的興趣，但是卻難以對其應用傳統的光刻法工藝。

【成果簡介】

近日，由蘇州大學陳林森教授、唐建新教授（共同通訊作者）帶領的科研團隊在納米加工領域取得了進步，使用光電設備控制易伸縮材料，該項發現為光控制光學器件以及有機和無機發光二極管提供了一個更加優越的解決方案。作為限制了頻譜和角響應的周期性光子結構的替代結構—準隨機結構代表了一個更為經濟以及簡單的解決方案，該方案結合了放射光和入射光的寬角度入射的方式。

【圖文導讀】

圖1：各種各樣的微米/納米結構在分辨率、成本以及生產量上的總結

（a）設備成本與其相應的分辨率；?????? （b）生產量與其對應的分辨率。

圖2：點陣全息數字記錄系統

（a）點陣全息系統示意圖；

（b-g）點矩陣系統制作的像素化納米模式的掃描電子顯微鏡圖片

圖3：基于粒子光刻技術的納米模板掃描電子顯微鏡圖片

（a）氫酸鹽類抗蝕劑最小尺寸；

（b）5納米半場嵌套L形氫酸鹽類抗蝕劑；

（c）50納米點陣。

圖4：體驅動納米壓印以及印記示意圖

（a）體驅動納米壓印?????????????? （b-c）熱印記和UV印記示意圖。

圖5：靜電力輔助納米壓印

（a）靜電力輔助納米壓印；

（b）靜電力輔助納米壓印示意圖；

（c）靜電力輔助納米壓印的納米模板。

文獻鏈接：Toward Scalable Flexible Nanomanufacturing for Photonic Structures and Devices（Adv. Mater.，2016， DOI: 10.1002/adma.201601801）

本文由材料人編輯部電子電工學術組seeding供稿，材料牛編輯整理。

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